日本ATA渦輪多涂機 AT-901的特點及使用案例分析

特征

可實現(xiàn)高倍率觀察所需的Cr（粉末）飛濺。
特殊的快門功能可抑制對樣品的熱損傷。
排氣泵內(nèi)外無油污。

<選項>

碳涂層附件（選項）可形成碳膜
等離子清洗（主機選項）可去除有機異物和表面演化處理。

涂層示例

◆ 不平整樣品的圖像（濾紙表面）（SEM圖像）

放大倍率 x 5,000 倍

放大倍率 x 5,000 倍

載玻片涂層樣品

◆ 涂膜顆粒度差異示例（AFM 圖像）

◆ 碳薄膜的TEM觀察圖像

在玻璃基板上蒸鍍碳，觀察因真空度的不同而產(chǎn)生的蒸鍍狀態(tài)的差異（TEM圖像）。
至于碳?xì)庀喑练e的狀態(tài)，可以看出在0.02Pa氣氛中的顆粒比在2Pa氣氛中更細(xì)。
（放大倍數(shù)為 200,000 倍）

真空度 = 2Pa（我們的較低型號）

真空度=0.02Pa（本裝置）