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技術(shù)文章

非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)FF8的特點(diǎn)

非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)FF8的特點(diǎn)

特征

  1. 測(cè)量樣品的反射率(干涉波形),并通過(guò)FFT(快速傅里葉變換)或其他方法分析薄膜厚度值。

  2. 除了薄膜厚度測(cè)量外,還可以測(cè)量薄膜和玻璃厚度以及折射率。 選項(xiàng)包括多層薄膜、曲線擬合、顯微鏡、映射測(cè)量、顏色測(cè)量和組分濃度分析。

  3. 測(cè)量數(shù)據(jù)可以保存為文件,以后重新分析。

  4. 由于還可以制造連續(xù)測(cè)量功能、橫移機(jī)構(gòu)和數(shù)據(jù)通信功能,因此也可以用作在線薄膜厚度測(cè)量。

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測(cè)量范圍
(分辨率)
0.01微米~50微米(0.1納米)
0.5微米~50微米(0.1納米)
1微米~200微米(0.001微米)
4微米~800微米(0.001微米)









Si02薄膜的測(cè)量示例(薄膜厚度:500nm)


乙烯基的測(cè)量示例(厚度:11μm)
氧化鋁膜的測(cè)量示例(膜厚:10μm)
印刷電路板抗蝕膜的測(cè)量示例



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