TVS-40T

該設(shè)備用于在無油真空下存儲 TEM 支架。通過使用該設(shè)備，可以大大減少污染物的附著。
由于它們存放在獨(dú)立的真空室中，因此可以單獨(dú)取出。TEM 支架端口根據(jù)客戶的 TEM 支架制造。

關(guān)于 TEM 持有人
配備 4 個(gè) TEM 支架端口。我們將創(chuàng)建一個(gè)與您的支架匹配的端口。可以對應(yīng)TEM制造商的特殊支架。
由于獨(dú)立的排氣系統(tǒng)，更換支架時(shí)其他存儲支架不會暴露在大氣中。配備玻璃窗（NW40 法蘭）以查看每個(gè)支架樣品部件

可操作性
配備觸摸屏，操作方便。配備程序控制的自動(dòng)排氣順序和聯(lián)鎖控制。
泵的維護(hù)時(shí)間顯示在屏幕上并通知。

關(guān)于選項(xiàng)

燈管加熱裝置
加熱方式：采用帶聚光凹鏡透鏡的鹵素?zé)艏訜帷?/span>
散熱方式：風(fēng)扇風(fēng)冷散熱。
溫度控制：熱電偶測溫PID控制，帶電子定時(shí)開關(guān)。
控制電源尺寸：535 W x 550 D x 185 H
等離子清洗裝置
電源：AC100V（單相100V）3A，使用地線三腳插頭
清洗對象：電子束照射沉積的污染物的去除和附著。
氣體引入：針閥手動(dòng)調(diào)節(jié)，電磁閥ON/OFF方式
吹掃等離子氣體：兼容空氣、氬氣、氬氣/氧氣等
安全措施：采用系統(tǒng)專用保險(xiǎn)絲
等離子電源：頻率13.56 MHz，輸出0 ~ 50 W 可變輸出顯示 數(shù)字儀表
等離子點(diǎn)火指示燈 等離子照射時(shí)間控制電子定時(shí)器
定時(shí)器：0 至 1、2、3、12、30/sec、min、hr 各自由設(shè)定。電子定時(shí)器
等離子電源尺寸：250W X 300D X 135H 重量 9Kg
等離子槍尺寸：70mmΦ X 220L 等離子槍安裝 NW-40
氣體：0.08 至 0.1 MPa，管道 1/4" Swagelok（氣瓶和減壓閥由用戶）